产品信息
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在研究院研发的产品通过制造实验装备(Demo)精密分析,最终开发出符合客户需求 的最优化装备。
N2 Stocker - 在半导体制造工艺用于保管并搬运FOUP的装备 - 保管时向FOUP内填充N2气体,从而调节氧气浓度
OHT(Over-head Hoist Transport) - 半导体制造工艺的代表性AMHS(Automated Material Handling System) → 利用工艺装备和Stocker等自动搬运/堆积资材
OHCV(Over Head Conveyor) - 为了有效利用给空间,安装在Fab房顶,搬运Tray的物流装置 - 由安装在上部的Conveyor和Diverter、在下部进行Loading/Unloading 的Lifter构成
AGV(Automated Guided Vehicle) - 在工艺装备和Stocker、Buffer之间自动搬运资材的无人搬运装备 - 在TDBI工艺,在Sorter、Tester、Rack Stocker和Buffer之间自动搬运/堆积 BIB Rack
SSD(Solid State Drive) Tester - PCLe&STAT Ⅲ 256 Paras (Semi Auto)
Mobile DRAM实装Tester - HS-MDP-1280
开发半导体用Film - Die Attach Film (DAF) - Wafer Back Grinding Tape - Wafer Dicing Tape
EDAV (Exhaust Damper Auto Valve) - 让每个工艺维持一定排气压力的排气自动压力气闸阀门 - 适用装备:半导体所有工艺装备群(Batch Furnace/单一装备)
FOUP CLEANER&FOUP PARTICLE复合清洗装备 - 清洗承装半导体制造用300mm Wafer容器的装备 - 清洗完毕FOUP(Front Open Unified Pod)后测量Particle,并将合格的产品投入生产的复合装备
O-RING - O-Ring是让截面为O型的装备零件防止流体(液体,气体,等离子)流入的 密封零件 - 是液晶或半导体制造装置等所有产业必须要使用的零件 - 防止发生气体(Gas)、药品(Chemical)、水(Water)Leak
太阳能发电(能源) - 利用太阳能凭借光电效果发电的太阳能电池(PV)的发电方式 - 构成:由太阳能电池(Solar cell)构成的模组,蓄电池,电力切换装置